半導體器件(HAST)強加(jiā)速穩態濕熱試驗方(fāng)法
作者:
salmon範
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來源:
www.tuyatang.com
發布日期: 2021.06.17
1、範圍
GB/T 4937的本部分規定了強加速穩態濕(shī)熱試驗(yàn)(HAST)方(fāng)法,用(yòng)於評價非氣密封裝半導體(tǐ)器(qì)件在潮濕的環境下的可靠性。
2、強加速穩(wěn)態濕熱試驗(HAST)一般說明
強加速穩態濕熱試驗通過施(shī)加嚴酷的溫度、濕度(dù)和偏置(zhì)條件來加速(sù)潮氣穿透外部保(bǎo)護材料(liào)(灌封或密封)或外(wài)部保護材料和金屬導體的交接麵。此試驗應力產生的失效機理通常與“85/85”穩(wěn)態溫濕度偏置壽命試(shì)驗(yàn)(見IEC
60749-5)相同。試驗(yàn)方法可以從85℃/85% RH穩態壽命試驗或本試驗方法中選擇。在執行兩(liǎng)種試驗方法時,85℃/85%RH穩態壽命試驗的結果優先於強加(jiā)速穩態濕熱試驗(HAST)。
本試驗方法應被視為破壞性試驗。
3、試(shì)驗設(shè)備
試驗需要一台能連續保持規定的(de)溫度和相對濕(shī)度的壓力容器——HAST試驗箱,同時提供電連接,試(shì)驗(yàn)時給器件施加規定的偏置條件。
3.1 HAST試驗(yàn)箱簡(jiǎn)介
草莓视频网站儀器HAST設(shè)備用於評估(gū)非氣密性封裝IC器件、金屬材料等在濕(shī)度環境下(xià)的可靠性(xìng)。通過溫度、濕度、大氣壓力條件下應用於加速濕氣的滲透,可通過外部保護材料(塑封料或封口),或在外部保(bǎo)護材料與金屬傳導(dǎo)材料之間界麵。它采用了嚴格的溫度,濕度,大氣壓、電壓(yā)條(tiáo)件,該條件會加速水(shuǐ)分滲(shèn)透到材料內部與(yǔ)金屬導體之間(jiān)的電化學(xué)反應。失(shī)效機製:電離腐蝕,封裝密(mì)封性。
產品特點:
可定製BIAS偏壓端子組數,提供產品通電測試
通過電腦安全(quán)便(biàn)捷的遠程訪問
多層級的敏感數據保護
便捷(jié)的程序入口、試驗設置(zhì)和產品監控
試驗數據可以導出為Excel格式並通(tōng)過USB接(jiē)口(kǒu)進行傳輸
可提供(gòng)130℃溫度、濕度85%RH和230KPa大氣壓的測試條件
3.2 受控條(tiáo)件
在上(shàng)升到規(guī)定的(de)試驗環境和從規定的試驗環境下降(jiàng)過程中,HAST試驗箱應能夠提供受控的壓力、溫度和相對(duì)濕(shī)度條(tiáo)件。
3.3 溫度分布
推薦記錄每一次試驗循環的溫度分布,以便驗證應力的(de)有(yǒu)效性。
3.4 受試器件
受試器件應以(yǐ)小化溫度梯度的方式(shì)安裝。受試器件(jiàn)應放置在箱體內距箱(xiāng)體內表(biǎo)麵至少(shǎo)3cm,且不應受到發熱體的(de)直接輻射。安裝器件的安裝(zhuāng)板應對蒸汽循環的幹擾小。
3.5 小化汙染物釋放
應認真(zhēn)選擇安裝板和插座的(de)材料,將汙染物的釋放減到少,將由於(yú)侵蝕和其他機理造成的退化減到少(shǎo)。
3.6 離子汙染
應對HAST試驗箱(插件櫃、試驗板、插座、配線儲存容器等(děng))的離子汙染進行控製,以避免試驗樣品受到汙染。
3.7 去離(lí)子水
應使用室溫下電阻率小為1X104 Q. m的去離子水。
4、試驗條件
試(shì)驗條件由溫度、相對濕(shī)度和器件上(shàng)施加規定偏置的(de)持續時間組成。
4.1典型的溫度、相對濕度和持續時間.
溫度、相對溫度和(hé)持續時間見(jiàn)表1。
4.2偏置準則
根據下列準(zhǔn)則施加偏置:
a) 小功率耗(hào)散(sàn);
b)盡可能多(duō)的交替施加引出端偏置;
c) 芯片上相鄰的金屬化(huà)線之間的(de)電壓差盡可能的高;
d)在工作範圍的電(diàn)壓;
注:.上述準則的優先(xiān)選擇(zé)應基(jī)於結(jié)構和特定的器件性(xìng)能。
e) 可采用兩種偏置中任意一種滿足上述準則(zé),並取嚴酷度較高的一-種:
1)持續偏(piān)置(zhì)
持續施加直流偏(piān)置。當芯片溫度高於試驗箱環境溫度≤10℃或受試器件(DUT)的熱耗(hào)散<200 mW且不知道芯片的溫度時,持續偏置比循(xún)環偏置嚴(yán)酷。如果受試器件(DUT) 的(de)熱耗散超過200 mW ,應計算芯片的溫度。如果芯片溫度超過試驗箱環境溫度5℃或5℃以上,應把芯片溫度與試(shì)驗環境溫(wēn)度的差值記錄在試驗結果中(zhōng),加速(sù)的失效機理將受到影響;
2)循環(huán)偏置
試驗時施加在器件上的直流電(diàn)壓按照適當的頻率(lǜ)和占空比周期性的中斷。如果偏置條件導致芯片溫度高於試驗箱溫度,其差值△Tja超過10℃,且對特定的器件類型為佳的偏(piān)置條件時,循環偏置將比持續(xù)偏置嚴(yán)酷。功(gōng)率耗散產生的熱量驅散了芯片表麵和(hé)周圍與失效機理有(yǒu)關係的濕氣(qì)。在(zài)關斷期(qī)間,器件沒有功率耗散時濕氣(qì)匯集於芯片。對(duì)大部分塑封微電路,受試(shì)器件(DUT)好采用50%的占空(kōng)比進行循環偏置。對於封(fēng)裝厚度≥2mm的器件其循環施加電壓(yā)時間應≤2h,封(fēng)裝厚度<2mm的器件其(qí)循環施加電(diàn)壓時間應≤30
min。基於已知(zhī)熱阻和耗散計算出的(de)芯片溫度超(chāo)過HAST試(shì)驗(yàn)箱環境溫度5℃或5℃以上時,芯片溫度(dù)應記(jì)錄在試驗結果中。
4.3選擇和(hé)記錄
選擇持續偏置或循環偏置的標準和是否記錄(lù)芯片溫(wēn)度超過試驗箱環境(jìng)溫度的(de)差值按表2中的規定。
5、程序
受試器件應以一定的方式安裝、暴露在規定的(de)溫濕度環境中,並施加規定的偏置電壓。器件應避免.暴露於過熱、幹燥或導致器(qì)件和電夾具上(shàng)產(chǎn)生冷凝水(shuǐ)的環境(jìng)中,尤其在試驗應力(lì)上升和下降過程(chéng)中。
5.1上升
達到穩定的溫度和相對濕(shī)度環境的時間應少(shǎo)於3h。通過保證(zhèng)在整個(gè)試驗時間內試驗箱的幹球溫(wēn)度超過濕球溫度來避免產生冷凝,並且上升的速率不能太快以(yǐ)確保受試器件(DUT)的溫度不(bú)低於濕球溫度。在幹燥(zào)的實驗室,試驗箱的初始環境比較幹(gàn)燥,應保持幹球和濕(shī)球溫度,使加熱開始後相(xiàng)對濕度不低於50%。
5.2 下降
階段下降到比較小的正表壓(濕球溫度大約104℃),為避免(miǎn)試驗樣品快速減壓,這段時間應足.夠長,但不能超過3 h。第二階段濕球溫度從104℃到室溫,可通過試驗箱的通風口來實現。此階段不限製時間,並且允許使用冷卻壓力容(róng)器。在下降的兩個階段,都應通(tōng)過保證在整個試驗時間內試驗箱幹球(qiú)溫度超過濕球溫度來避免在器件上產生冷凝(níng)水,下降過程應保持封裝芯片的(de)模塑材料的潮氣含量。
而且階段的相對濕度(dù)應不低於50%(見5.1)。
5.3試驗計時
試驗計時從溫度和相對濕度達到規定(dìng)條(tiáo)件開(kāi)始到下降開始時結束。
5.4 偏置
在上升和下降階段可選擇是否施加偏置。器件加載後應在試驗計時開始前(qián)驗證偏置,在試驗計時結束後且在器件移(yí)出試驗箱之前也要驗證偏置。
5.5測試
下降階段結束後48h內進行電測試。
注:對於中間測量,在下降階段(duàn)結束後96 h內器件恢複(fù)應力。器件從HAST試驗箱移出後,可以通過把器件放入密封的潮濕袋(dài)(無幹燥劑)中(zhōng)來(lái)減(jiǎn)小器件的潮氣釋放速率。當器件放入密封袋時,測試時間計時以器件暴露(lù)於試驗室環境中潮氣釋放速率的1/3來計算。這樣通過把器件裝人潮氣密封袋(dài)中測試時間可延長到144h,壓力恢複時間也延長到288
h。
5.6處理
器件、安裝板(bǎn)和設備應使用適當的保護處理,在強加速(sù)潮濕試驗過程中,汙染(rǎn)控製是很(hěn)重要的。
6、失效判據
在強加速穩態濕熱(rè)試驗(yàn)後,如果器件參數超過極限值,或按適用的采購文件和數據表中規定的正常和(hé)極限環境中不能驗證其(qí)功能時,器件視為失效。
7、安全性
應當遵守設備廠(chǎng)商的建議(yì)和地方安全規章製度。
8、說明
有關的采購文件中應規定如下的內容:
a)試驗持續時間(見 4.1);
b) 溫度(見4.
1);
c) 試驗後測量(見5.5);
d) 偏置條件(見4.2);
e)在試驗期間 如果芯片溫度高於試(shì)驗箱環境溫度5 ℃以上時(shí)芯(xīn)片的溫度(見4.2);
f) 如果使用循環偏置,則規定偏置的頻率(lǜ)和占空比(見4.2)。