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IGBT器件基本失效模式(shì)及機理

作(zuò)者: 網絡(luò) 編(biān)輯: 草莓视频网站儀器 來源: 網絡 發布日期: 2020.11.09

    目前,國內外對於IGBT器件失效的研究眾多,主要從兩方麵入手,一方麵是考慮器件自身的工作循環,另一方(fāng)麵是考慮器件的實際工況環境,研究表明IGBT失效是由內部工作循環及外部工況同時作用(yòng)導致的,其失效機理複雜,失效模式主要分為封裝類失效(xiào)及芯片類失效,如圖2-2所示。


IGBT器件基本失效(xiào)模式分類


    一方麵IGBT在工作時,通常開關頻率高,在持續的功率(lǜ)循環作用下,由於功率損耗,產生出大量熱量,在模(mó)塊內如不能(néng)得到及時的散熱,繼而導致模塊內部溫度升高。由(yóu)於(yú)IGBT器件主(zhǔ)要由各種材料的層結構組(zǔ)成,材(cái)料間熱膨脹係數(CTE)差異大,器件內(nèi)部溫度升高從而使得材料(liào)間產生交變的剪(jiǎn)切應力造成熱變形。
    另一方麵,對於某些IGBT,如(rú)用於航天任(rèn)務的功率電子器件IGBT,所處的工況環境惡(è)劣,同時(shí)所經曆的任務(wù)載荷複雜,其失效維護困難,這(zhè)一類的IGBT模塊除了高密度的(de)功率循環內部工作條件外,同(tóng)時要承受高低溫(wēn)環境、機械振動及太空輻射等外(wài)部環境影響,惡劣的工作(zuò)環境將加速器件由於工作循(xún)環導致的失效影響,如加速IGBT模塊由於功率(lǜ)循環熱應力(lì)導致的疲勞裂紋擴展,振動衝擊(jī)致使IGBT封裝鍵合線斷裂(liè)等。
    (1)IGBT器件封裝類失效
    為了滿足大電流的工程應用需求,IGBT 器件通常由幾個IGBT芯片並(bìng)聯封裝成一個模塊,封裝(zhuāng)對於IGBT器件來說,至關重要,既要實現器件與外部電路的連通,同時又(yòu)要保證IGBT器件結構及工作性能的穩定,免受外部環境的機械損傷及空氣氧化。IGBT 器件(jiàn)封裝(zhuāng)類失效可分(fèn)為兩類:與鍵合(hé)線相關的失效、與焊料層相關的(de)失效。
    ①鍵合線相關失效

    鍵合引線一般(bān)是通(tōng)過超聲波鍵合工藝,實現與(yǔ)芯片、DBC板的連接,由於工作過程中承受較大的(de)電流負載,其鍵合點處為IGBT模塊的薄弱環節之一。鍵合線故障主要包括鍵合(hé)點脫(tuō)落及鍵合線斷裂,研究表明功率電子(zǐ)器件中鍵合(hé)線(xiàn)失效占器件總失效的70%左右。隨著(zhe)技術(shù)發展,用於IGBT鍵合線的材料特性越來越好,鍵合線斷(duàn)裂情況(kuàng)很少(shǎo)再發(fā)生,因此IGBT鍵合(hé)線故(gù)障主要的失效模式為鍵合點脫落。鍵合線脫落如圖(a)、(b),由於鋁鍵合線(xiàn)的抗拉極限低,在(zài)IGBT正常工(gōng)作時(shí)的功率循環與溫度循環下,因電流通過產生的熱應力及材(cái)料間CTE差異(yì)引起的剪切應力,導致鍵(jiàn)合線與芯片連接處(chù)萌(méng)生裂紋,在持續(xù)的熱應力或外部(bù)環境如振動衝擊影(yǐng)響下,裂紋擴展,進而導致IGBT鍵合線脫落。


鍵合引(yǐn)線脫落失效

    鍵合引線在剪切應力作(zuò)用下裂紋(wén)擴(kuò)展失效的過程如圖(tú)2-4 所示,可以看到裂紋萌生的部位產生了應力集中(zhōng)效應,導致靠近裂紋位置的應力(σlocal) 要明顯大於其它距離(lí)裂紋位置較遠的應力(σ),兩應力之間存在如式(2-1)所述關係(xì)式。圖2-4中: a表示當前(qián)形成的裂紋長度,r 表示到當(dāng)前形成裂紋尖部(bù)的距離大小(xiǎo)。可以(yǐ)看(kàn)到,σloca 應力(lì)隨著到裂紋尖部的距離增大而呈現減小(xiǎo)趨勢,當某一靠近裂紋的位置出(chū)現σloca應力大於鋁鍵合引線產生的應力時,裂紋(wén)變形將發生擴展,進而(ér)導致鋁鍵合引線與IGBT 芯片間發生脫落。同時,如(rú)果需(xū)要確定裂紋變形區域的寬度(dù),我們可以在式(shì)(2-1) 和式(2-2) 中假定σloca=σy,,然後求解即可。

引(yǐn)線脫落擴展示意圖

    ②焊料(liào)層相關失效

    焊料層(céng)主(zhǔ)要作用在於連接IGBT器件內部各層材料,在工作期間產生的熱循環過程中,由於材(cái)料間CTE差異,在材料間產生交變的剪切熱(rè)應力,焊料(liào)層疲勞如圖2-5 (a)、 2-5 (b)所示。在上(shàng)述應力的連續作用下,導致焊料層疲(pí)勞老化,萌生裂紋,進(jìn)而擴展至(zhì)材料分層,同時由於裂紋及分層的產生,焊(hàn)料(liào)層與各層材料間的(de)接觸麵積變小,模塊熱阻(zǔ)增大(dà),IGBT 器件(jiàn)內溫度進一步升(shēng)高,並加速焊料層(céng)的失效,循環往複,致使IGBT過熱燒毀。另一方麵(miàn),不可避免的IGBT在製造過程中由於其工藝本身缺陷,其初始狀態就具有裂(liè)紋或空洞等,這些工(gōng)藝缺陷在熱應力的激發下(xià),同樣將(jiāng)導(dǎo)致器件的失效。

焊接層疲(pí)勞

    IGBT器件焊料層疲勞的擴展(zhǎn)過程與鍵合引線裂紋擴(kuò)展類似,如圖2-6所(suǒ)示。上圖所示(shì)熱剪(jiǎn)切應力作用下,焊料層疲勞(láo)裂紋末端產(chǎn)生一個(gè)不可恢複區(qū)域,同時在熱應力作用下,裂紋(wén)發生拉長(zhǎng),致使焊料層生(shēng)成一(yī)個包含可(kě)恢複變形( △ael )和永久變形( △apl )新的表麵。在應力σ去除後,前麵形成的可恢複變形將複原,但永久變形部分仍在,致使新生成的表麵發生擴(kuò)展。

焊料層疲勞擴展(zhǎn)圖

    (2) IGBT器(qì)件芯片類失效
    IGBT模塊中與芯片相關的失效主要有:電過應力、靜電(diàn)荷放電、離子汙染、電子遷移、輻射損傷等(děng)。
    ①電過應力
    過電壓失效原因主要有兩點,一方(fāng)麵由於靜電聚積在(zài)柵極發射極電容Cge 上引起過(guò)壓,另一方麵為電(diàn)容米勒效應引起的柵極過壓,兩者都會使柵(shān)氧化層擊穿(chuān)而導致失效。IGBT的過電流失效主要是由於導通期(qī)間出現浪湧或發生短路故障時,熱電載流子成倍(bèi)增加,引起過電流的(de)發生,過電流進而導致過電壓,過(guò)電壓又反過來引起過電(diàn)流,終導致器件功率損耗增大,結溫升高,IGBT芯片發生燒毀。
    ②靜電荷放電
    靜電放電(diàn)(Electro-Static discharge, ESD)容易造成IGBT柵氧化層穿(chuān)透,致使IGBT發(fā)生(shēng)短路失效。但發生靜電擊穿柵氧化層的器件仍然可以正常工作,且不好監測,隻有器(qì)件工作一旦時(shí)間後,靜電失效才會慢慢顯現出來,進而嚴重影響器件的(de)使用性能。
    ③離子汙(wū)染
    離子汙染通常(cháng)是由器件(jiàn)製造封裝過程中引入的灰塵、水汽及其它微小雜質(zhì)造成的,主要引起IGBT器件發生電流泄露,同時影響器件的輸出特(tè)性,終致使器件短路失效。
    ④電子遷(qiān)移
    電(diàn)子遷移通常(cháng)指(zhǐ)的是因電流通過,金屬導線的組成離子,隨電流方向,發生流動,造成金屬導線中離子分布(bù)不均,局部(bù)出現空洞及小丘(qiū),從而導致IGBT器件發生短路、斷路及參數退化(huà)等失效模式。
    ⑤輻射損傷(shāng)
    航天(tiān)工況環境的IGBT,由於宇宙輻射的影響,輻射中所含的多種高能粒子與IGBT器件內氧(yǎng)化(huà)物結合引起電離,導致器件因(yīn)參(cān)數漂(piāo)移發生失效(xiào)。
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