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IGBT器件基本失效模式及機理

作者: 網絡 編輯: 草莓视频网站儀器 來(lái)源: 網絡 發布日期: 2020.11.09

    目前,國內外對於IGBT器件失效(xiào)的研究眾多,主要從兩方麵入手,一方麵是考慮器件(jiàn)自身(shēn)的工作循環,另一(yī)方(fāng)麵(miàn)是考慮(lǜ)器件的實際工況(kuàng)環境,研究(jiū)表明IGBT失效是由內部工作循環及外部工(gōng)況同時作用導致的,其失效機理複雜,失效模式主要分為(wéi)封裝類失效(xiào)及芯片類失效,如圖2-2所示。


IGBT器件基本失效模式分類(lèi)


    一方麵IGBT在工作時,通常開(kāi)關(guān)頻率高,在持續的功率循環作用下,由(yóu)於功率損耗,產生出大量熱量(liàng),在模塊內如不能得到及時的散熱,繼而導致模塊(kuài)內部溫度升高。由於IGBT器件主要由各種材料的(de)層結構(gòu)組成,材料間熱膨脹係數(shù)(CTE)差異大,器件內(nèi)部溫度升高從(cóng)而使(shǐ)得材料間產生交變的剪切應力造成熱變形。
    另一方麵,對於某些IGBT,如用於航天任務的功率電(diàn)子器件(jiàn)IGBT,所處的工況環境惡劣,同時所經曆的任務(wù)載荷複雜,其失效維護困難,這一類的IGBT模塊除了高密度的功率循環內部工作條件外,同時要(yào)承受高低(dī)溫環境、機械振動及太空輻射等外部環境影響,惡劣的工作(zuò)環境將加速器件由於工作(zuò)循環導致的失效影響,如(rú)加速IGBT模塊由(yóu)於功率循環熱應力導致的疲勞(láo)裂紋擴展(zhǎn),振動衝擊致使IGBT封(fēng)裝鍵合線斷裂等。
    (1)IGBT器(qì)件封裝類失(shī)效
    為了滿足大電(diàn)流的工程應用需求,IGBT 器件通常由幾(jǐ)個IGBT芯片(piàn)並聯封裝成一個模塊(kuài),封裝(zhuāng)對(duì)於IGBT器件來說,至關重要,既要實(shí)現器件與外部電路(lù)的連通,同時又要保證IGBT器(qì)件(jiàn)結構及工作性能的穩定,免受外(wài)部環境的機械損傷及空氣氧化。IGBT 器件(jiàn)封裝類(lèi)失效可分為兩類:與鍵合線相(xiàng)關(guān)的失效、與焊料層相(xiàng)關的失效。
    ①鍵合線相關失效

    鍵合引線一般是通過超聲波鍵合工(gōng)藝,實現與芯(xīn)片、DBC板的連接,由於工作過程中承受較大的電流負(fù)載,其鍵合(hé)點處為IGBT模塊的薄弱環節之一(yī)。鍵合線故障主要包括鍵合點脫落及鍵合(hé)線斷(duàn)裂,研究(jiū)表明功率電子器件中鍵合(hé)線(xiàn)失(shī)效占器件總失效的70%左右。隨著技術發展(zhǎn),用於IGBT鍵合線的材料特性越來越好,鍵合線斷裂情況很少再發生(shēng),因此IGBT鍵合線故障主要的失效模式為鍵合點脫落。鍵合(hé)線脫落如圖(tú)(a)、(b),由於鋁鍵合線的抗拉(lā)極限低,在IGBT正常工作時的功率(lǜ)循環與溫度循環下,因電流通過產生的(de)熱應力及材料間CTE差異引起的剪切應力,導致鍵合線與芯片連接處(chù)萌生裂紋(wén),在持續的熱應力或外部環境如振動衝擊影響下,裂紋擴展,進而導致IGBT鍵合線脫落。


鍵合引線脫落失效

    鍵合引線在剪切應力作用下裂紋擴展(zhǎn)失效的過程如圖2-4 所示,可(kě)以看到裂紋萌生的部位產生了應力集中效(xiào)應,導致靠近裂紋位置的應力(σlocal) 要明顯大(dà)於其它距離裂紋位置較遠的應力(σ),兩應力之間存在(zài)如式(2-1)所述關係式。圖2-4中: a表示當前(qián)形成的裂紋長度,r 表示到當前形成裂紋尖部的距離(lí)大小。可以看到,σloca 應力隨著到(dào)裂紋尖部(bù)的距離增大而呈現減小趨勢,當某一靠近裂紋的位置出現σloca應力大於鋁鍵合引線產生的應力時,裂紋變形將發生擴展,進而導致鋁鍵合引線與(yǔ)IGBT 芯片間發生(shēng)脫落。同時,如(rú)果需要確定裂紋變(biàn)形區域的寬度,我們可以在式(2-1) 和式(2-2) 中假定σloca=σy,,然後求(qiú)解(jiě)即可。

引線脫落擴展(zhǎn)示意圖

    ②焊料層相關失效

    焊料層主要作用在(zài)於連接IGBT器件內部各層材料,在工作期間產生的熱循環過程(chéng)中(zhōng),由於材料間CTE差異,在材料間產生交變的剪切熱應力,焊料層疲勞如圖(tú)2-5 (a)、 2-5 (b)所示。在上述應(yīng)力的連續作用(yòng)下,導致焊料層疲勞老化,萌生裂紋,進而擴展至材料(liào)分層,同時由於裂紋及分層(céng)的產生,焊料層與各(gè)層材料間的(de)接觸麵積變小,模(mó)塊熱阻增大,IGBT 器件內溫度進一步升高,並(bìng)加速焊料層的失效,循環往複,致使IGBT過熱燒毀。另一方麵,不(bú)可避免的IGBT在製造過程中由於其工藝本身(shēn)缺陷,其初始狀態就具有(yǒu)裂紋或空洞等,這些工藝(yì)缺陷在熱應力的激發下,同(tóng)樣將導致器件的失效。

焊接層(céng)疲勞

    IGBT器件焊料層(céng)疲(pí)勞的擴展過程與鍵合引線裂紋擴展類似,如圖2-6所示。上圖(tú)所示熱剪切應力作用下,焊料層疲勞裂紋末端產生一個不可恢複區域,同時在熱應力作用下,裂紋發生拉長,致使焊料層生成一個包含(hán)可恢複變形( △ael )和(hé)永久變形( △apl )新的表麵。在應力σ去除後,前(qián)麵形成(chéng)的可恢複變形將複原,但永久變(biàn)形部分仍在,致使新生(shēng)成的表麵發生擴展(zhǎn)。

焊料層(céng)疲勞擴展圖

    (2) IGBT器件芯片類失效
    IGBT模塊中與芯片相關的失效主(zhǔ)要(yào)有:電過應力、靜電荷(hé)放電、離子汙染、電子遷(qiān)移、輻射損傷(shāng)等(děng)。
    ①電過應力
    過電(diàn)壓失效原因主(zhǔ)要有兩點,一方麵(miàn)由於(yú)靜(jìng)電(diàn)聚(jù)積在柵極發射極電容Cge 上引起過壓,另一方麵為電(diàn)容米勒效應引起(qǐ)的(de)柵極過壓,兩者(zhě)都會使柵氧化(huà)層擊穿而導致失效。IGBT的過電流失效主要是由於導通期間出現浪湧或發生短路(lù)故障時,熱電載流子成倍增加,引起(qǐ)過電流的(de)發生,過電流進而導致過電壓,過電壓又反過來引起過電(diàn)流,終導致器件功率(lǜ)損耗增大,結溫升高,IGBT芯片發生燒(shāo)毀(huǐ)。
    ②靜電荷放電(diàn)
    靜電(diàn)放電(Electro-Static discharge, ESD)容易造成IGBT柵氧化(huà)層(céng)穿透,致使IGBT發生短路失效。但發生靜電擊穿柵氧化層的器件仍然(rán)可以正常工作,且不好監測,隻有器件工(gōng)作(zuò)一(yī)旦時間後,靜電失效才會慢慢(màn)顯(xiǎn)現出來,進而嚴重影響器件(jiàn)的使用性能。
    ③離子汙染
    離子汙(wū)染通常是由器(qì)件製造封裝過程(chéng)中引入的灰塵、水汽(qì)及其它微小雜質造成的,主要引起(qǐ)IGBT器件發(fā)生電流泄露,同時影響器件的輸(shū)出(chū)特性,終致使器件短路失效。
    ④電(diàn)子(zǐ)遷移
    電子(zǐ)遷移通常指的是因(yīn)電流通過,金屬導線的組(zǔ)成離子,隨電流方向,發生流動,造成金屬導線中(zhōng)離子分布不均,局部出現空洞及(jí)小丘,從而導致IGBT器件發生短路、斷路及參數退化等失效(xiào)模式。
    ⑤輻射損傷
    航天工況環境的IGBT,由於宇(yǔ)宙(zhòu)輻射的影響,輻射中所含的多(duō)種高能粒子與IGBT器件內氧化物結合(hé)引起電離,導致器件因參數漂移發生失效。
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本文(wén)標簽: IGBT器件 溫度循環試驗

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