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集成電路芯片高低溫測試的應用（yòng）

作者：網絡編輯：草莓视频网站儀器來源：網絡發布（bù）日期： 2020.06.13

近幾年來，本實驗室（shì）連續開展了大規模集成電路的新（xīn）品檢測（cè）工（gōng）作，如（rú）偵察（chá）運算電路、BCH 編譯碼器、CRT地址產生電路及接口電路等，基本上都是規模較大的CMOS電路，對靜電敏感，工作速度較快。在高、低溫（wēn）電性能測試中成功地采用了該（gāi）集成電路高、低溫（wēn）電（diàn）性（xìng）能測試係統，積累（lèi）了一些有益的（de）經驗。通過實際應用發現，必須注意以下一些具體的環節，如測試板（bǎn）的隔離（lí）、防潮，被測器件的靜電保護，被測器件（jiàn）芯片（piàn）溫度的確定等問題、才能快速、準確地完成CMOSVLSI的高、低（dī）溫電性能測試（shì）。

    在高、低溫測試時，將變溫頭直接罩在（zài）測試設備的DUT板上，如果不（bú）采取隔離措施，測試設備的DUT板將會處於+125℃的高溫和-55℃的低溫環（huán）境，勢必影（yǐng）響測試係統的性能和測試（shì）結果。在實際測試時，我們將一種防（fáng）靜電的隔（gé）熱膠墊放在測試係統的DUT板上，在測試夾具處開一小口將測試夾具（jù）露出（chū），這樣對測試係統的DUT板起到一定（dìng）的保（bǎo）護（hù）作用，但如果DUT板長（zhǎng）期處於高溫或低溫環境，隔熱膠墊的作（zuò）用（yòng）將（jiāng）大為減弱，基於（yú）此，我們在（zài）設置溫度控（kòng）製程序時對它進行了調整。在（zài）高溫測試時，將溫度控製程序設為，在每個樣品測試完成換樣品（pǐn）前，讓變溫頭向DUT板送涼氣流10 s，然後才結束溫控程序換樣品，這樣就加速了DUT板的散（sàn）熱，將高（gāo）溫對DUT板造成的影響降到。在低溫測（cè）試時，將溫度控製程序設為，在每（měi）個樣品測（cè）試完成換樣品前，讓變溫頭（tóu）向DUT板送熱氣流10s，然後才結束溫控程序換樣品，這樣DUT板上的溫度已接近室溫，在換樣品時（shí）就避免了環境溫度與低溫的對流，造成DUT板凝水。對於被測器件的防靜電措（cuò）施有：隔熱膠墊采用防靜電材料;遮蓋被測器件的小（xiǎo）罩由導熱防靜電材料（liào）所製。
    在用（yòng）該高低溫循環試驗箱做溫（wēn）度測試時，係統有溫度傳感器叮測到（dào）器件底部的溫度，雖然氣流是垂直於DUT表麵而下，但DUT的底部還是屬於（yú）器件（jiàn）表麵，如（rú）何確定DUT芯片溫度的建立（lì）時間，是個比較（jiào）複雜的問題。因為（wéi）DUT芯片溫度的建立時（shí）間受很多內素的影響，如DUT的材料、形狀、尺寸，溫度（dù）以及氣體流（liú）量的大小等（děng）因素的影響。不（bú）同的器件芯片溫度的建（jiàn）立時（shí）間是不一樣的溫度建立時間是指係統變溫(升溫獲降溫)開（kāi）始，到建立新的熱平衡，即被（bèi）測器件芯片溫（wēn）度達到設定值這（zhè）一段時間。某公司給出了1000Ω電阻溫（wēn）度探測（cè）器(RTD)的溫（wēn）度建立時間曲線，如圖3所示。圖3表明（míng）不同的RTD其溫度建（jiàn）立時間是不同的。
    DUT芯（xīn）片溫度的建立時間對於高、低溫測試是（shì）非常重要的指標，隻有在大（dà）於（yú）建立時間的時間段內測試，測試的數據才能（néng）真正地反映設定溫度點的性能及具（jù）有重複性。對於複雜的大規模集成電路，我們采取（qǔ）在開始高、低溫測（cè）試前，通過反複試驗，確定被測器件芯片溫度（dù）的建立時間。在熱流（liú）係統顯示達到設定溫（wēn）度開始，對被測器件進行多次電參數測試（shì），當其電參（cān）數趨於穩定並（bìng）具有可重複性時，將（jiāng）這段時間確定為DUT心片溫度的建立時間（jiān）。經過反複試驗發現，係（xì）統（tǒng）的溫（wēn）度傳感器測得的被測器件（jiàn）底部溫度與芯片溫（wēn）度基本一致（zhì）。

高低溫測試設（shè）備推薦

草莓视频网站RK-TH-408高低（dī）溫（wēn）循環試驗箱（Temperature Cycling Test）是利用高溫低溫循環變化測（cè）試來評估集成電路IC芯片等產品對溫度變化的抵抗能（néng）力。主要是利用高（gāo）溫低溫循環變化，來測試電子元器件（jiàn）、半導體、IC芯片等產品上各層不同物（wù）質之熱膨脹俘數不同（tóng），而可能引起之故障機製。在此測試中因所用（yòng）之溫（wēn）度介質為氣相，故一般亦（yì）稱為air to air測試。

滿足標準

    草莓视频网站RK-TH-408高低溫循環試（shì）驗箱滿足GB/T2423.1(IEC60068-2-1)；
    GB/T2423.2(IEC60068-2-2)；
    ISO16750；
    GB/T14710；
    GB/T13543；
    JESD22等係列（liè）標準中的溫度試驗。