質(zhì)量(Quality)和可靠性(Reliability)在(zài)一定程度上可以說是IC產品的(de)生(shēng)命。質量(Quality)就是產品性能的測量,它(tā)回答了一個產品是否合乎規格(SPEC)的要求,是否(fǒu)符合各項性能指標的問題;可靠性(Reliability)則是對產品耐久力的測量,它回答了一個產品生命周期有(yǒu)多長,簡單說,它能用多久的問題。所以說質量(Quality)解決的是(shì)現階段的問題,可靠性(Reliability)解決的是(shì)一段時間以後的問題。知道了兩者的區(qū)別,我們發現,Quality的問題解決方法往往比較直接,設計和製造單位在產品生產出來後,通(tōng)過簡單的
高壓(yā)加速老化試驗箱(xiāng)測試,就可以知道產品的性能是否達到SPEC的要求,這種(zhǒng)測(cè)試(shì)在IC的設計和製造單位就可以進行(háng)。相對而言,Reliability的問題(tí)似(sì)乎就變的十分棘手,這個產品能用多久,誰會(huì)能(néng)保證今天產品能用,明天就一定(dìng)能用?
為了解決這個問題(tí),人們製定了各種(zhǒng)各樣的標準,如: JESD22-A108-A、EIAJED- 4701-D101,注:JEDEC(Joint Electron Device Engineering Council)電子(zǐ)設備工程聯合委員會,著名國際電(diàn)子行業標準化組織之一(yī);EIAJED:日本電子工業協會,著(zhe)名國際電子行(háng)業標準化組織之一(yī)。
在介紹一些目前較為(wéi)流行的Reliability的(de)測試方法之前,我(wǒ)們先來認識一下IC產品的生命周期。典型的IC產品的生命周期(qī)可以用一(yī)條浴缸曲線(xiàn)(Bathtub
Curve)來(lái)表示。
Region (I) 被稱為(wéi)早夭期(Infancy period)
這個(gè)階段產品的 failure rate 快速(sù)下降,造成失效的原(yuán)因在於IC設計和生產過程中的缺陷;
Region (II) 被稱為使用(yòng)期(Useful life period)
在這個階段產(chǎn)品的failure
rate保持(chí)穩定,失效的原因往往是隨機的(de),比如溫度變化等(děng)等;
Region (III) 被稱為磨耗期(Wear-Out period)
在這個階段failure rate 會快速升高,失效的(de)原因就是(shì)產(chǎn)品的長期使用所造成的(de)老化等。
認識了典型IC產品的生命周期,我們就可以看到,Reliability的問題就是(shì)要力圖將處於早夭期failure的產品去除並估算其良率(lǜ),預計(jì)產品的使用期(qī),並且找到failure的原因,尤其是在IC生產(chǎn),封裝,存儲等方麵出現的問題所造成的失效原因(yīn)。
下麵就是一些 IC產(chǎn)品可(kě)靠(kào)性等級(jí)測試項目(IC Product Level reliability test items )
一、使用壽命測試項目(Life test items):EFR, OLT (HTOL), LTOL
①EFR:早期失效等級測試( Early fail Rate Test )
目的:評估工藝的穩定性(xìng),加速缺陷失效率,去除由於天生(shēng)原因(yīn)失效的產品。
測(cè)試條(tiáo)件: 在特定時間內動態提升溫度和電壓對產品進(jìn)行測(cè)試
失效機製:材(cái)料或工藝的缺陷,包(bāo)括諸如氧化(huà)層(céng)缺(quē)陷,金屬刻鍍,離子玷汙等由於生(shēng)產(chǎn)造成的失效。
具體的(de)測試條件和(hé)估算結果可參考以下標準:JESD22-A108-A
;EIAJED- 4701-D101 。
②HTOL/ LTOL:高/低溫操作生命期試驗(High/ Low Temperature Operating Life )
目的:評估器件在超熱和超電壓情況下一段時間的耐久力
測試條件(jiàn):125℃,1.1VCC, 動態測試
失效機製:電子遷(qiān)移,氧化(huà)層(céng)破裂(liè),相互擴散,不穩定性,離子玷汙等
參考標準(zhǔn):
125℃條件下(xià)1000小時測試通過IC可(kě)以保(bǎo)證持續(xù)使用4年,2000小時(shí)測試持續使用8年;
150℃ 1000小時測試(shì)通過保證使用(yòng)8年,2000小時保證使用28年。
具體的測試條件和估算(suàn)結(jié)果可參考以下標準 :MIT-STD-883E
Method 1005.8 ;JESD22-A108-A ;EIAJED- 4701-D101 。
二、環境測試項(xiàng)目(Environmental test items)
PRE-CON, THB, HAST, PCT, TCT, TST, HTST, Solderability Test, Solder Heat Test
①PRE-CON:預處理測試(
Precondition Test )
目的:模(mó)擬(nǐ)IC在使用之前在一定(dìng)濕度,溫(wēn)度條件下(xià)存(cún)儲的耐久力,也就是IC從生產到使(shǐ)用之間存儲的可靠性。
測試流程(Test Flow):
Step 1:超聲掃描儀(yí) SAM (Scanning Acoustic Microscopy)
Step
2: 高低溫循環(huán)(Temperature cycling )
-40℃(or lower) ~ 60℃(or higher) for 5 cycles to simulate shipping conditions
Step 3:烘(hōng)烤( Baking )
At minimum 125℃ for 24 hours
to remove all moisture from the package
Step 4:浸泡(Soaking )
Using one of following soak conditions
-Level 1: 85℃ / 85%RH for 168 hrs (儲運(yùn)時間多久都沒關係(xì))
-Level 2: 85℃ / 60%RH for 168 hrs (儲運時間一年左右)
-Level 3: 30℃ / 60%RH for 192 hrs (儲運時間一周左右)
Step5:Reflow (回流(liú)焊)
240℃ (- 5℃) / 225℃
(-5℃) for 3 times (Pb-Sn)
245℃ (- 5℃) / 250℃ (-5℃) for 3 times (Lead-free)
* choose according the package size
Step6:超聲(shēng)掃描儀 SAM (Scanning Acoustic
Microscopy)
BGA在回流工藝中由於濕度原因而過度膨脹所導致的分層/裂紋
具體的測試條(tiáo)件和估算結果可參考(kǎo)以(yǐ)下標準:JESD22-A113-D;EIAJED- 4701-B101。
評(píng)估結果(guǒ):八種耐潮濕(shī)分級和車間壽命(floor life),請參閱 J-STD-020。
注:對於6級,元件使用之前必須經過烘焙,並且必須在潮濕敏感(gǎn)注(zhù)意(yì)標貼上所規定(dìng)的時間限定(dìng)內回流。
提示:濕度總是困(kùn)擾在電子係統背後的一個難題。不管是在空氣流通的熱帶區域中,還是在潮濕的區(qū)域(yù)中運輸,潮濕都是顯著增(zēng)加電(diàn)子工業開(kāi)支的(de)原因。由於潮濕敏感性元件使(shǐ)用的增加,諸(zhū)如薄的密間距元件(fine-pitch
device)和(hé)球柵陣列(BGA, ball grid array),使(shǐ)得對這個失效機製的關注也增加了。基於此原因,電子(zǐ)製造商們必須為預防潛在災(zāi)難支付高昂的開支。吸收到內部的潮(cháo)氣是半導體封裝的問題。當其固定到PCB板上(shàng)時(shí),回流焊(hàn)快速加熱將在內部形成壓力。這種高速膨脹,取決於不(bú)同封裝結構材料的(de)熱膨脹係數(CTE)速率不同,可能產生封裝所不能承受的壓力。當元件暴露在回流(liú)焊接期間升高的溫度環境下,陷於塑料的(de)表麵(miàn)貼裝元件(SMD, surface mount device)內部的潮濕會產生足夠的(de)蒸(zhēng)汽壓力損(sǔn)傷或毀壞元件。常(cháng)見的失效模式包括塑料從芯片或引腳(jiǎo)框上的內部分離(脫層)、金線焊接損傷、芯片損傷、和不會延伸到元件表麵的內部裂紋等。在一些極端的情況中,裂紋會延伸到元件的表麵;嚴重的情況就是元件鼓脹(zhàng)和爆裂(叫做“爆米花”效益)。盡管現在,進(jìn)行回流焊操作時,在180℃
~200℃時(shí)少量的濕度是可以接受的。然而,在230℃ ~260℃的範圍中的無鉛工藝裏,任何濕度的存在都能夠形成足夠導致(zhì)破壞封裝的小爆炸(爆米花狀)或材料分層。必須進行明智的封裝材料選擇、仔細控製的組裝環(huán)境和(hé)在(zài)運(yùn)輸中采用(yòng)密封包裝及放置幹燥劑等措施。實(shí)際上國外經常使用裝備有射頻標簽的濕度(dù)跟蹤係統(tǒng)、局部控製單元和專用軟件來顯示封裝、測試(shì)流水線、運輸/操作及組裝操作中的濕度控製。
②THB: 加速式溫濕度(dù)及偏壓測試(shì)(Temperature Humidity Bias Test )
目(mù)的:評估IC產品在(zài)高溫(wēn),高濕,偏壓條件下對濕氣的(de)抵抗(kàng)能力,加速其失效進程(chéng)。
測試條件:85℃,85%RH, 1.1 VCC, Static bias
失效機製:電解(jiě)腐蝕
具體的測試條件(jiàn)和估算結(jié)果可參(cān)考以下標準:JESD22-A101-D;EIAJED- 4701-D122
Leakage failure
③高加速(sù)溫濕度及偏壓測試(HAST: Highly Accelerated Stress Test )
目的:評估IC產(chǎn)品在偏壓下高溫(wēn),高濕,高氣壓條件下對濕度(dù)的抵抗能(néng)力,加速其失效過程。
測試條件(jiàn):130℃, 85%RH, 1.1 VCC, Static bias,2.3 atm
失效機製:電離(lí)腐蝕,封裝密封(fēng)性
具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:JESD22-A110
Au Wire Ball Bond
with Kirkendall Voiding
④PCT:高壓蒸煮試驗(yàn) Pressure Cook Test (Autoclave Test)
目的:評估IC產(chǎn)品在高溫,高濕,高氣壓條件下對濕度(dù)的抵抗能力,加速其失效過程。
測試(shì)條件:130℃, 85%RH, Static bias,15PSIG(2 atm)
失效機製:化學金屬腐蝕,封裝密封性
具體的測試條件和估算結果可參考以(yǐ)下標準:JESD22-A102;EIAJED- 4701-B123
*HAST試驗箱與THB試驗箱的(de)區別在於溫度更高,並且(qiě)考慮(lǜ)到(dào)壓力因素,實驗時間可以縮短, 而PCT試驗箱則不加偏壓,但濕度增大。
Bond pad corrosion
⑤TCT: 高(gāo)低溫循環試驗(Temperature Cycling Test )
目的:評估IC產品中具有不同熱膨脹係數(shù)的(de)金屬(shǔ)之間的界麵的接觸良率。方(fāng)法是通過循環流(liú)動的空(kōng)氣(qì)從高(gāo)溫到低溫重複變化。
測試條件:
Condition B:-55℃ to 125℃
Condition C: -65℃ to 150℃
失效機製:電(diàn)介質的斷裂,導體和絕(jué)緣體(tǐ)的斷裂,不同界麵的分層
具(jù)體的測試條件和估算(suàn)結果可參(cān)考以下標(biāo)準:MIT-STD-883E
Method 1010.7;JESD22-A104-A;EIAJED- 4701-B-131
Ball neck broken by die top de-lamination after Temp cycling
⑥TST: 高低溫衝擊試驗(Thermal Shock Test )
目的(de):評估IC產品中具有不同熱膨脹係數的金屬之間的界麵的接觸良率。方法(fǎ)是(shì)通過循環流動的(de)液體從高溫到低溫重複變化。
測試條件:
Condition B: - 55℃ to 125℃
Condition C:- 65℃ to 150℃
失效機製:電介質的斷裂,材料(liào)的老化(如bond wires), 導體機械變形
具體(tǐ)的測試條(tiáo)件和估算結果可參考以下標準:MIT-STD-883E
Method 1011.9;JESD22-B106;EIAJED- 4701-B-141
* TCT與TST的(de)區別在於TCT偏重於package 的測試,而TST偏(piān)重於(yú)晶園的測試
Metal crack and metal shift after thermal Shock
⑦HTST: 高溫儲存(cún)試驗(High
Temperature Storage Life Test )
目的(de):評估IC產品在實(shí)際使用之前在高溫(wēn)條(tiáo)件下保持幾年不工作條件(jiàn)下的生命時間。
測試條件:150℃
失效機製(zhì):化學和擴散效(xiào)應,Au-Al 共金效應(yīng)
具體的測試條件和估算結果可(kě)參考以下標準:MIT-STD-883E
Method 1008.2;JESD22-A103-A; EIAJED- 4701-B111
Kirkendall Void
⑧可焊性試驗(Solderability Test )
目的:評估IC leads在粘錫過程中的可靠度
測試方法:
Step1:蒸汽老化8 小時
Step2:浸(jìn)入245℃錫盆中 5秒
失效標準(Failure Criterion):至少(shǎo)95%良率
具體的測試條件和估算結果可參考以下標準:MIT-STD-883E Method 2003.7;JESD22-B102。
poor solderability of the pad surface
⑨SHT Test:焊接(jiē)熱量耐久測試( Solder Heat Resistivity Test )
目的:評(píng)估IC 對瞬間高溫(wēn)的敏感度
測試方法:侵入260℃ 錫盆中10秒
失效標準(zhǔn)(Failure Criterion):根據電測試結果
具體的測試條件和估算結果可參考以下標(biāo)準(zhǔn):MIT-STD-883E Method 2003.7;EIAJED- 4701-B106。
三、耐久性測試項目(Endurancetest items )
Endurance
cycling test, Data retention test
①周期耐久性測試(EnduranceCycling Test )
目的:評估非揮發性memory器件在多次讀寫算後(hòu)的持久性能
測試方法:將數據寫入memory的存儲單元,在擦除數據,重複這個過程多(duō)次
測試條件:室溫,或者更高,每個數據的讀寫次數(shù)達到100k~1000k
具體的測試條件和(hé)估(gū)算結(jié)果可參考以下(xià)標準:MIT-STD-883E Method 1033
②數據保(bǎo)持力測(cè)試(Data Retention Test)
目的:在重複讀寫之後(hòu)加速非揮發性memory器件存儲節點的電荷損失
測試方法:在高溫條件下將數據寫入memory存儲單元後(hòu),多次讀取驗證單元中的數據
測試條件:150℃
具體的測試條件和估算結果可參考以下(xià)標準:MIT-STD-883E Method 1008.2;MIT-STD-883E Method 1033
在了解上述的(de)IC測試方法之(zhī)後,IC的設計製造商就需要根據不用IC產品的性能,用途(tú)以及需要測試的目的,選擇(zé)合(hé)適的測試(shì)方法,限度的降低IC測試的時間和(hé)成本,從(cóng)而有效控製IC產(chǎn)品的質量和可靠度。