MEMS器件溫度循環試驗
作者：
salmon範
編輯：
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來源（yuán）：
www.tuyatang.com
發布日期： 2020.08.31
1、目的
本試驗的目的是測定MEMS器（qì）件承（chéng）受高溫和低溫的能力，以及高溫與低溫交替變（biàn）化（huà）對器件的影響（xiǎng）。
2、設備
所用高低溫試驗箱在加載負荷時（shí），應能為工作區提供和控製規定的溫度。熱容量和（hé）空(的流量必須能使工作區和負載滿足規定的試驗條件（jiàn）和計時要求。在試驗期間，用溫度指示器（qì）或自動記錄儀顯示監測傳感器的讀數來連續監視壞（huài）情況的負載溫度。對樣品的熱傳（chuán）導應減至小。
3、程（chéng）序（xù）
樣品的安放位置（zhì）不應妨礙樣品四周空氣的（de）流動。當需要特殊地安置樣品時，應作具體規定。樣品應在（zài）規定條件下連續完成規定的循環次（cì）數。采用試驗條件C至（zhì）少循環10次。一次循環（huán）包括第1步至第2步（bù）或適用的試驗條件，必須無中斷（duàn）地完成，才能算（suàn）作一次循環。在完成（chéng）規定的試驗循環總次數（shù）期間，為了進行器件批的加載或去載，或由於電源或設備故障，允（yǔn）許（xǔ）中斷試驗。然而，如果中斷次數超過規定的循（xún）環總次數的10%時（shí），不管任何理由，試驗必（bì）須重新從頭開始進行。
3.1計時
從熱到冷或從冷到熱的（de）總轉換時間不得超（chāo）過（guò）1min。當壞情況負載溫度是處在（zài）表（biǎo）1規定的極值範圍之內時，可以轉移負載，但停留時間不得少於10min，負載應在15min內達到規（guī）定的溫度。
3.2檢驗
後一（yī）次循環完成之後，不（bú）放（fàng）大或放（fàng）大不超過3倍對樣品標（biāo）誌進行檢驗，放大20~50倍對外（wài）殼、引線或封口（kǒu）進行目檢(但當本試驗用於100%的（de）篩選時至少應放大（dà）1.5倍進行檢（jiǎn）驗)。
本（běn）項檢驗和任何補充規定的測量及檢驗，都應在後一次循環完成之後進行，或者在包括本試驗的某試驗組、步或分組完（wán）成時（shí）進行（háng）。
3.3失效判據
試（shì）驗後（hòu），任何規定的終（zhōng）點測量（liàng）或（huò）檢驗（yàn）不合格，外（wài）殼、引線或封口的（de）缺陷或損壞（huài）跡象，或標誌模糊，均應視為失效。試驗期間，由於夾具或操作不當造成標誌的（de）損壞，不應影響器件的（de）接收。
