深度解析GJB7400-2011塑封集成電路鑒定程序
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技術遊俠
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來源:
技術遊俠
發布(bù)日期(qī): 2019.12.20
國內塑封半導體集成電路(lù)鑒定檢驗主要依據GJB7400-2011《合格製造廠認證用半導體集(jí)成電路通用(yòng)規範》進行。標準(zhǔn)包(bāo)括了器件應滿足的質量和可靠性保證要求,並規(guī)定了相(xiàng)應的產品質量保(bǎo)證等(děng)級(V級、Q級、T級(jí)、N級)。
GJB7400-2011中4.4條鑒定檢驗規定,應按附錄B中B.2.4.2和B.2.4.3的規定進行(háng)(但(dàn)附錄B中(zhōng)並沒有B.2.4.2和(hé)B.2.4.3),器件並應至(zhì)少滿足本(běn)規範A、B、C、D和E組(適用時)的試驗要求。但目前國(guó)內大多數單位在按照標準中的D4分組進行檢驗(yàn)時(表1所示),預處理條件(表貼塑封器件)及熱衝擊、溫度循環試驗樣品疊加及降低強加速穩態濕熱條件等問題日益突(tū)出。
1、表貼塑封器件的預處理
表麵貼裝塑封(fēng)器件屬於非氣密封器件,外部環境中(zhōng)的潮氣易滲透進封裝內部,組裝(zhuāng)過程中的焊接高溫將導致器件內部界(jiè)麵產生分層,甚(shèn)至爆炸開裂。所以,表貼塑(sù)封器件比通孔安裝的塑封器件更容易發生失效,進行預處理(lǐ)十分必(bì)要。但預處理(lǐ)的試驗條件卻沒有對應的國軍標,也沒有國(guó)標或是行標,隻是(shì)簡單的一(yī)句話“按器件(jiàn)詳細規範的規定”。導致一些單位在進行預處理時往往隻按GJB548B-2005方法(fǎ)1008進行穩定性烘焙。
查閱NASA在2003年發布的頒(bān)布PEM-INST-001《塑封微電路選用(yòng)、篩(shāi)選和鑒定指南》可知,塑封集成電路預處理試驗時按照JESD22-A113-F《可靠性(xìng)測試前非密(mì)封表麵(miàn)貼裝器件預處理》進行,該標準采(cǎi)用了溫度循環、穩定烘焙及回流焊三種組合方式進行預處理。
a)溫度循環,按照MIL-STD-883方法(fǎ)1010試驗條件(jiàn)為-40℃~60℃,5次;
b)穩定烘焙,對於濕度敏感(gǎn)度2a-5a級的器件(JEDEC-STD-033C)預處理為(厚度≤1.4mm,125℃下烘烤8h~28h;厚度≤2.5mm,125℃下烘烤23h~24h;厚度≤4.0mm,125℃烘烤48小時)。
c)回流焊(hàn),回流曲線按照JEDEC-STD-020E.1進行,根據不(bú)同潮濕敏感度等級(1級(jí)~6級)的器件對(duì)應允許暴(bào)露的(de)時間(離(lí)袋長時間),選擇不同條件的吸潮試驗(如圖1所示),大多數單位(wèi)選擇條件30℃/60%RH、192h。當(dāng)從高低溫濕熱試驗箱中取(qǔ)出樣品後至少放置15min,並在4h內進行3次回流焊(各區間溫(wēn)度見圖2~圖3所示)。如果(guǒ)樣品取出高低溫濕熱試驗(yàn)箱和初始回流焊之(zhī)間的等待時間(jiān)沒有達到要求,需重新進行穩定(dìng)烘培及吸潮,回流(liú)焊之間的間隔時間應在5min~60min,並充分進行有效降溫,避免影響後續(xù)的回流焊。
回流(liú)焊三次循環的過程(chéng):第1次(cì)循環,模擬器件在雙層板兩次(cì)組裝中的次回流焊過程;第2次循環,模擬器件在雙層板兩次組(zǔ)裝中的第二(èr)次回流焊過程;第3次循(xún)環,模擬器件返工(gōng)的回流過程。
全部預處理結束後用40倍光學放大鏡檢查外部是否有裂紋。
2、D4a)分組試驗(yàn)樣品的疊加
目前國產塑封器件按N級進行(háng)考核,大多數通過不了D4a)組試驗,主要原因是GJB7400-2011表6中的4a)組冷熱衝(chōng)擊和溫度循(xún)環試驗(yàn)的樣品(22隻)是疊加進行,即做完冷熱衝擊(jī)試(shì)驗後的樣品(pǐn)繼續進行溫度循環試驗。
冷熱(rè)衝擊試驗主要考察塑封材料熱脹冷縮引起的交變應力,試驗可(kě)能會造成材料的開裂、接觸不良、性能變化等現象,而
溫(wēn)度循環試驗主要是測定器件承受極端(duān)高溫和極端低溫的能力,以及極端高溫與極端低溫交替變化對器件的影響,當樣品(pǐn)經受極端環境(jìng)應力循環時,若塑封內部各材(cái)料(liào)的熱膨脹係數不匹配(pèi),缺陷部(bù)位就(jiù)會(huì)受到應力而不斷擴大,從而產生熱疲勞失效開裂現象。
因此,試驗樣品的疊加對器件的封裝可靠性(xìng)要求相對較高。同一組的樣品在經(jīng)曆冷熱衝擊100次150℃~-65℃後,再進行溫度(dù)循環1000次-65℃~150℃時(shí),大多(duō)數產品會失效,進(jìn)行S-CAM檢查時經常會發現芯片與塑封料的大麵積分層。
針對上述情況,國內一(yī)些單位又想通(tōng)過GJB7400的N級(jí)鑒定,但按標準(zhǔn)又不能(néng)通過,所(suǒ)以隻能降低考核要求(所謂的N1級考核),采(cǎi)取試驗(yàn)樣品(pǐn)分組(即用不(bú)同樣品分別進行熱衝擊和溫度循環)和降低(dī)試驗條(tiáo)件的(de)方式通過4a)組考核,典型試驗條件見表2所示。
表2 塑封器件N1級 D4分組(4a、4b)試驗項目及條件(jiàn)
另外,樣(yàng)品在進行高(gāo)壓加速老化試驗(HAST)後,檢(jiǎn)查(chá)外觀通常(cháng)也會發現腐蝕(shí),因為塑封(fēng)料在交(jiāo)聯固化時會產生氯化鈉作(zuò)為副產品,如在(zài)封(fēng)裝時沒有及時去(qù)除,那麽在(zài)強加速穩態濕熱試驗中極易暴露這一缺陷並發生腐(fǔ)蝕,尤其(qí)是塑封中的Al金屬(shǔ)腐蝕更為明顯。所以,采取降低D4b)分組中高壓加速老化試驗(HAST)的試驗條件,典型試驗(yàn)條(tiáo)件見(jiàn)表3所(suǒ)示。
表3 塑封器件N1級 D4分組(4c)HAST試驗(yàn)條件
3、D4分組的聲學掃描顯微鏡檢查判(pàn)據要求
在進行D4分組試驗前,需進(jìn)行一次聲學掃描顯微鏡檢查,檢查並記錄引線框架(正麵與背麵)與(yǔ)模塑料之間、芯片基座(正麵和背麵)與模塑料直接的分層。當進行熱衝擊與溫度循環試驗後,再進行聲(shēng)學掃(sǎo)描顯微(wēi)鏡檢查。檢測器件時,呈現任何下來缺陷的器件應判不合(hé)格:與4組(zǔ)超聲檢測(cè)比較,引線框架和芯片基(jī)座分層麵積變化超過10%;芯片表麵、引出端引線鍵合(hé)區出現分層;塑料出現空洞或裂紋符合GJB4027A-2006工作項目1103中2.4.4的規定。
D4分組的聲掃判據相比GJB4027A-2006工作項目1103中2.4.4增加了引線框架和芯片基座分層麵(miàn)積(jī)變化率的要求,但對引腳從(cóng)塑封完全剝離及連筋頂部分層超過其長度的1/2的這兩條判據未做要求。
另外(wài),需要(yào)留意(yì)GJB7400-2011塑封器(qì)件篩選程序中(表1B)的聲學掃描顯微鏡檢查中(zhōng)的判據與鑒定程序(xù)的差異。用於找出器件的芯片表(biǎo)麵及引出(chū)端焊線鍵合區的嚴重缺陷(隻做頂視圖)。判據如下:
a)裂紋:塑料封裝內與鍵合引線交叉的裂縫;從任一引線指至任一內部特征物(引(yǐn)腳(jiǎo),芯片,芯片粘接側翼)的內部裂紋(wén),其(qí)長度超過(guò)相應間距的(de)1/2;任何延伸至封裝表麵的裂紋;
b)空洞:跨越鍵合絲的模塑料的任何空洞;芯片區內有任何模塑料內部的空洞,其他區域大於0.25mm;
c)分層:芯片與模塑料間的任何可測(cè)量的分層;引出端引線鍵合區的任何分層;大於引腳(jiǎo)內(nèi)部長(zhǎng)度2/3的分(fèn)層。
後,對於完成聲學掃(sǎo)描顯微鏡檢查後的樣品,建議按照標準PEM-INST-001,在125℃下烘烤1h,以便去除樣品吸附的水(shuǐ)分(fèn)。
參(cān)考標準:
PEM-INST-001、JEDEC-STD-033C、MIL-STD-883K、JESD22-A113-F、GJB7400-2011、GJB4027-2006、JEDEC-STD-020E.1
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