微電子器件老（lǎo）化篩選測試流程
作者（zhě）：
salmon範
編輯（jí）：
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來源：
www.tuyatang.com
發布日期： 2020.12.01
1、流程
艦船通用微電子器件的老化篩選項月，一般都與個或多個故障模代有關（guān）。所以其老化篩選的順序大有講究，本文推薦的艦（jiàn）船通用微（wēi）電子器件（jiàn）老（lǎo）化篩選順序（流程）是：
常溫初測、低溫測試（shì）、高溫測試、高低溫衝擊動（dòng）態老化/高溫存儲檢漏常溫終測這裏的/是條件或（huò）。即如果已做動態老化，高溫存儲可省：如果由於條件限製做不了動態老化，那麽可（kě）用高溫存儲作補償性篩選。
2、技術條件和方（fāng）法
2.1常溫初/終測
2.1.1條件
檢測的環境溫度：23℃±2℃
確保被檢器件在檢測（cè）的環境溫度下已保持30min。
2.1.2方法
在有能力檢（jiǎn）測被測器件的測試係統上，按器件數據手冊的技術要求檢測器件是（shì）否（fǒu）滿（mǎn）足規定（dìng）的各項指標（biāo）要求。一般，這（zhè）些測試係統需要經過認可/計確認，測試軟件經過認可/計量確（què）認。
2.2低溫測試
2.2.1條件
檢測的環境溫度：工作Tmin ±3℃
確保被檢器件在檢測（cè）的環境溫度下已保持120min。
2.2.2方法
在有能力檢測被（bèi）測（cè）器件的測試係統上，按器件數據於冊的技術要求檢測器件是（shì）否滿足規定的各項指標要求（qiú）。一（yī）般，這些測試係統需（xū）要經（jīng）過認可/計量確認，測試軟件經過認可/計量確認。
2.3高溫測試
2.3.1條件
檢測（cè）的環（huán）境溫度（dù）：工作Tmax±3℃
確（què）保被檢器（qì）件在檢測的環境溫度下已保持120min。
2.3.2方法
在有能力檢測被測器件的測（cè）試係統上，按器件數據手（shǒu）冊的技（jì）術要求檢測器件是否滿足規定的務項指標要求。一般，這些測試（shì）係統蓿要經過認可/計量確認，測試軟件經過認可/計量確認。
2.4高低溫（wēn）衝擊
2.4.1條件
衝擊低（dī）溫：存儲/工作 Tmin ±3℃
衝擊高溫：存儲/工作 Tmax
±3℃
衝擊保（bǎo）持時間：30min。
衝擊交替時問：<3min。
衝擊交替次數：5次。
2.4.2方（fāng）法
2.4.2.1 .二箱法
本方法使用兩箱式冷熱衝擊試驗箱完成試驗。從常溫開始，將（jiāng）非工作狀態的器件放入低溫箱，使其達到存儲/工作Tmin±3℃，保持30min,取出被試件在常溫下放（fàng）置2-3min，再放入溫度已達存儲/工作Tmax±3℃的高溫（wēn）箱，保持30min。取出被試件在常溫下放置2-3min，再放入溫度已達存儲/工作Tmin±3℃的，低溫箱，保持30min
...，如此循環重複5次。剔除外觀受（shòu）損部分。一般，這些試驗設備也需要經過認（rèn）可（kě）/計量確認（rèn）。
2.4.2.2一箱（xiāng）法
在三（sān）箱式（換氣式）冷（lěng）熱衝擊試驗箱上完成，將試驗箱的二個（gè）試區溫度分別置為：存儲/工作Tmin±3℃和存儲/工作Tmax±℃，並設置它相關的試驗參數和（hé）上（shàng）作參（cān）數。將受試作放入低溫區開始試驗。應確保試驗從低溫（wēn）開始並能白動切換5個循環。一般，這些試驗設備也需要（yào）經過認可/計量確認。
2.5動態老化3.5.1條件
老化（huà）的環境溫度：工作Tmax±3℃
老化（huà）時（shí）間（jiān）：48h/96h。
2.5.2方法
在步入（rù）式高溫老化房上完成，按器件數（shù）據（jù）手冊規（guī）定的技術要求（qiú）設定老化電源、電流、電壓等具體的老化條件。確保每個被試器件已安全地固定在（zài）相應老化（huà）板的老化夾（jiá）具上，並確保老化器件的每個輸入管腿都有圖形脈衝進入（rù）。一般，這樣的老化係統也需要經過認可/計量確認。48h/96h應由（yóu）客戶或程序文件（jiàn）確定。
2.6高溫存儲3.6.1條件
高溫存貯溫度：存貯/工作Tmax±3℃
高溫存貯時間：48h/96h
2.6.2方法
將元器件放在滿足試驗能力要求（qiú）的高低（dī）溫試驗箱（xiāng）中，設置（zhì）高溫存貯溫（wēn）度和保（bǎo）持時間，啟動試驗，當溫度到達（dá）Tmax後確保保持96h，取出自然降溫。一般，這樣的設備也需要經（jīng）過認可/計崇確認。48h/96h
應由客戶或程序文件確定。
2.7粗檢漏
2.7.1條件
檢漏液沸點溫度：120℃±5℃
確保被檢器件能承受該溫度（dù），否則不進行粗檢漏。如：民品器件。
確保檢漏液無大於1um粒子，否則過濾後再使用。
2.7.2方法
將被（bèi）檢器件放（fàng）入加壓容器，充氮氣達411Kpa保持2h。然後,將恢複常（cháng）壓的（de）被檢件逐個放入120℃±5℃的檢漏液中，確保被檢（jiǎn）件（jiàn）淹沒深度超（chāo）過5cm.借助放大鏡觀察30s 以上，剔除連續旨泡者。一般，這樣的壓力容器和壓力表也需要經過（guò）認可/計量確認。
3、試（shì）檢判別依據
3.1測試判別依據
常溫初/終測、高、低溫測試的判（pàn）別依據是由（yóu）各（gè）微電子器件生產廠商發布的柑（gān）應器件於冊所規定的技術（shù）指標（biāo）。在無本手冊的（de）前提下，不同商規定的技術指標可參照執行。測試時，隻要存在一項指標不合（hé）格，該器件應視為不合格品處置。在這樣的情況下，後序的篩選過程不再執行。除非該（gāi）器件的不合格程（chéng）度並不嚴重，同時（shí）已通知（zhī）並經用戶認可，方能繼續進行。
3.2試（shì）驗判別依據
3.2.1高溫存儲/高低溫衝擊/動態老化判別依據
這兩項試驗的目（mù）的是加速（sù）/誘發微電子器件的早期失效（xiào）。一般存在缺陷的器件在早期失效後不能恢（huī）複，由於高低溫（wēn）衝擊/動態老化設備（bèi），無能（néng）力對其電氣特性是否發生了變化進行判別，所以（yǐ）對高低溫衝（chōng）擊/動（dòng）態老化後的（de）器件的性（xìng）能判別將在終測時進行。此時隻需（xū）要對高低溫衝擊/動態老化（huà）後的器件進作肉眼觀察，看其外（wài）觀物理狀態是否發生了明顯的變化，例如（rú）：龜裂、爆炸等（děng）等，如果有這類情（qíng）況，器件應立即（jí）剔除，不再參加以後的篩選試驗。
3.2.2粗檢漏判別依據
根據（jù）粗（cū）檢漏的技術條件和要求，用放大鏡觀察浸入高（gāo）溫檢（jiǎn）漏液的器件，剔除（chú）連（lián）續詈泡者。
4、記錄和報告
在（zài）微電子器件的（de）老（lǎo）化（huà）篩選過程中，對本文（wén）推薦流程的每個階段都應形（xíng）成記錄，並出具一個初（chū）測報告、低溫測試報告、高溫測試報告、一個完整（包括高低（dī）溫衝擊和動態老化和（hé）粗檢（jiǎn）漏）的試駿報告和一個終測報告。完整的試驗報（bào）告也應將所作的全部（bù）試驗條件和結果描述消楚。
