微光機電係統(MicroElectroMechanicalSystems-——MEMS)，以下簡稱MEMS。MEMS是融合了矽（guī）微（wēi）加工、LIGA(光刻、電鑄和塑鑄)和精密機械加工等多種微加工技術，並應用現代信息技術構成的微型係統。它在微電子技術的基礎上發展起來的，但又區別於微電子技術。它包括感知（zhī）外界信息(力、熱、光（guāng）、磁、電（diàn）、聲等)的傳感器和控製對象的執行器，以及進行信號處理和（hé）控製的電路。MEMS器件和傳統的機器相（xiàng）比（bǐ），具有體積小、重量輕、耗能低、溫升小、工作速度快（kuài）、成本低、功能強、性能好等特點。